TSMC abandonne la lithographie de High NA EUV pour les nœuds A14 et A16

Temps: 2025/05/6

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Lors de son symposium technologique en Amérique du Nord, TSMC a annoncé qu'elle n'utiliserait pas de machines de lithographie EUV à haute ouverture numérique (High Na) pour la fabrication de puces sur son prochain nœud de processus A14 (1,4 nm).

Au cours de l'événement, TSMC a donné un aperçu du processus A14 et a révélé qu'il devrait entrer dans la production en 2028. Auparavant, la société a déclaré que le processus A16, prévu pour la fin 2026, ne nécessiterait pas non plus d'outils de NAUV élevés.

Kevin Zhang, vice-président principal du développement des affaires de TSMC, a déclaré: "De 2 nm à A14, nous n'avons pas besoin de NA élevé, mais nous pouvons maintenir un niveau similaire de complexité des processus."

Cette approche contraste fortement avec la stratégie d'Intel.Intel a adopté de manière agressive la technologie élevée de l'EUV dans sa tentative de rattraper les principales fonderies comme TSMC et Samsung.Intel a été la première entreprise à recevoir une machine de lithographie ASML High NA EUV et prévoit de l'utiliser dans la production de puces à partir de 2025 avec son processus Intel 18A.